靜電卡盤表面反應(yīng)區(qū)的溫度對穩(wěn)定工藝至關(guān)重要，電子式溫度傳感器的測溫穩(wěn)定性和精度容易受電磁干擾?？涛g機反應(yīng)區(qū)存在較強射頻場，射頻場的磁場干擾會影響電子式溫度傳感器的穩(wěn)定性，進而對靜電卡盤的溫度控制帶來不穩(wěn)定性。熒光溫度傳感器是使用稀土熒光物質(zhì)的光學物性來測量溫度的光學測溫方式，性能不受電磁干擾，結(jié)構(gòu)無導體，還可使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影響熱控。
熒光光纖測溫技術(shù)，是基于光致發(fā)光現(xiàn)象，使用特殊的熒光材料，通過檢測熒光壽命與溫度變化的對應(yīng)關(guān)系，來測得所需要的溫度值。利用熒光物質(zhì)被激發(fā)后發(fā)光特性與溫度線性相關(guān)的特性，使用寬譜光做為激發(fā)媒介，光纖做為傳導介質(zhì)，將熒光物質(zhì)與光纖封裝為一體而制成。傳感器感溫物質(zhì)使用金屬封裝，重復性好，精度高，響應(yīng)快，壽命長，可應(yīng)用于對壽命及抗干擾有嚴格要求的領(lǐng)域。
實時監(jiān)測刻蝕機靜電卡盤熱點溫度
有效評估刻蝕機運行狀態(tài)，增強系統(tǒng)可靠性與穩(wěn)定。
長期在線監(jiān)測刻蝕機溫度變化趨勢
Tmeas Log溫度記錄系統(tǒng)是針對需要持續(xù)采集溫度測溫場景開發(fā)的 PC 端溫度數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，能夠根據(jù)測溫場溫度變化構(gòu)建溫度變化分析趨勢曲線，實施事前管理和風險預(yù)測。
實時監(jiān)測設(shè)備運行狀態(tài)和進行故障分析
獨有自診斷功能，通過內(nèi)部光電信號檢測和算法，可有效識別光纖傳感器故障類型，防止誤報、錯報等現(xiàn)象的發(fā)生。
提供動態(tài)、實時、可靠的溫度信息
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來進行溫度測量，測溫性不受電磁干擾。
測溫范圍 | -20℃~70℃ |
測溫精度 | ±0.3℃ |
測溫分辨率 | 0.05℃ |
測溫通道數(shù) | 1 |
響應(yīng)時間 | ≤150ms |
溫度單位 | ℃ |
供電 | DC 24V（輸入電壓范圍DC 12-24V） |
運行溫度 | -20-55℃ |
存貯溫度 | -40-80℃ |
存儲相對濕度 | 20%-80%（無凝結(jié)） |
| 設(shè)備功耗 | 500mW |
| 結(jié)構(gòu)尺寸 | 104*81.2*53（長*寬*高 單位mm） |
| 通訊協(xié)議 | 標準Modbus RTU協(xié)議 |
| 通訊接口 | RS 485 |
| 設(shè)備接口 | DB15插針接口 |
| 設(shè)備重量 | ≤250g |
| 電源輸入 | DC 24V（輸入電壓范圍DC 12-24V） |
| 光纖連接器類型 | FC |
| 最小彎曲半徑 | 50mm |
| 長度要求 | 1.5m |
| 光纜耐受溫度 | -40℃～80℃ |
熒光溫度傳感器屬于全光測量裝置
只有光信號沒有電信號，屬于是真正的無源探頭。
對電磁干擾本質(zhì)免疫
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來進行溫度測量，測溫性不受電磁干擾。
測溫周期短，實時性高
測溫周期小于1秒，可充分保證溫度數(shù)據(jù)的可靠性。
具備自診斷功能，安全可靠
通過內(nèi)部光電信號檢測和算法，可有效識別光纖傳感器故障類型，防止誤報、錯報等現(xiàn)象的發(fā)生。
解調(diào)儀和光纖溫度探頭交換使用，無需標定
不存在熱電偶的溫度漂移，不需要紅外溫度傳感器表面發(fā)射率修正等。
● 蝕刻機熱點光纖溫度在線監(jiān)測
● 沉積設(shè)備熱點光纖溫度在線監(jiān)測
| 設(shè)備名稱 | 型號 | 數(shù)量 | 備注 |
| 熒光光纖溫度傳感器 | SSA7 | 1 | 標準長度：1.5m（特殊長度可定制） |
| 高精度熒光光纖溫度解調(diào)儀 | FAS1 | 1 | 標準通道數(shù)：1 |
| 系統(tǒng)軟件 | Tmeas LOG | 1 | 選配 |
