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產(chǎn)品名稱:高精度熒光光纖溫度解調(diào)儀FA-S1
產(chǎn)品特點:?體積小巧,全鋁合金外殼,全屏蔽設(shè)計,面板固定孔位設(shè)計,易于設(shè)備內(nèi)部集成安裝;?數(shù)字溫度信號輸出,采用標準Modbus RTU協(xié)議,易于集成開發(fā)。
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量身定制量身定制
多年行業(yè)沉淀多年行業(yè)沉淀

高精度熒光光纖溫度解調(diào)儀專為刻蝕機晶圓溫度監(jiān)測定制,集光源激勵和熒光溫度解調(diào)分析于一體,帶有光路自診斷功能,體積小,響應(yīng)快,準確性高,帶數(shù)字信號輸出,支持標準Modbus RTU 協(xié)議等多種協(xié)議,支持Ekova多種型號熒光傳感器。

FAS1-產(chǎn)品特點

熒光光纖測溫屬于接觸式測溫方式。該裝置依據(jù)測量熒光余暉壽命的長短來實現(xiàn)溫度測量。涂抹在遠處測溫端的熒光物質(zhì)受到特定波長的光激勵后,會輻射出相應(yīng)的熒光能量。撤銷掉特定波長的光激勵后,熒光余暉開始衰減。熒光余暉持續(xù)的長短就取決于位于測溫探頭上的熒光物質(zhì),即待測物質(zhì)的溫度。特定波長光激勵的選擇和所選的熒光物質(zhì)是相匹配的,不同的熒光物質(zhì)的最有效的激發(fā)光波長是不同的。選擇的時候要重點考慮選擇光波長最具有適合激發(fā)熒光物質(zhì)的光激勵。通常光激發(fā)的熒光物質(zhì)衰減曲線為單指數(shù)形式。

FAS1高精度熒光光纖溫度解調(diào)儀專為刻蝕機晶圓溫度監(jiān)測定制,集光源激勵和熒光溫度解調(diào)分析于一體,帶有光路自診斷功能,體積小,響應(yīng)快,準確性高,帶數(shù)字信號輸出,支持標準Modbus RTU 協(xié)議等多種協(xié)議,支持Ekova多種型號熒光傳感器。

FAS1-插圖


規(guī)格參數(shù)
測溫通道數(shù)1
測溫范圍-20℃~70℃
測溫精度±0.3℃
分辨率0.05℃
響應(yīng)時間≤150ms
工作電壓DC 24V(輸入電壓范圍DC 12-24V)
功耗500mW
光學(xué)接口FC 
適配的光纖溫度傳感器型號SSA71-F93N-0
設(shè)備尺寸104*81.2*53(長*寬*高 單位mm)
設(shè)備重量≤250g
通訊接口RS 485
通訊協(xié)議標準Modbus RTU協(xié)議
設(shè)備接口DB15插針接口
運行溫度-20-55℃
存貯溫度-40-80℃
存儲相對濕度20%-80%(無凝結(jié))

外形結(jié)構(gòu)

FAS1-外型結(jié)構(gòu)



選型說明

FAS1-選型說明


  ●  蝕刻機熱點光纖溫度在線監(jiān)測

  ●  沉積設(shè)備熱點光纖溫度在線監(jiān)測


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